| 品名 |
应用范围 |
| 椭偏仪 |
应用于半导体外延层（包括化合物材料），光刻胶和金属的透明/半透明
、单层/多层、各项同性/异性等薄膜的膜厚、折射率和消光系数的测量 |
| 反射仪 |
应用于半导体基底、透明基底（如玻璃）和金属基底的透明/半透明膜的
厚度测量，测量层数一般少于两层 |
台阶仪/
探针式轮廓仪 |
应用于半导体器件、MEMS、金属镀层、油漆涂层、玻璃镀膜和太阳能等领
域；主要用于膜厚、应力、表面粗糙度和表面形貌的测量 |
| 原子力显微镜
/AFM |
广泛应用于半导体、生物学、数据存储、食品、化学、地质、能源、环境
等领域的表征测量 |
三维光学
表面轮廓仪 |
广泛应用于半导体材料和陶瓷基板表面的粗糙度、MEMS器件关键尺寸、
TSV孔尺寸和精密度等机械的测量 |
| 扫描电镜 |
广泛用于微电子/半导体、化学、材料学、燃料电池、环保、医药卫生、
生物学等领域，用于纳米级材料的二维表面形貌分析与测量、可配置能谱仪或波普仪实现材料的表面成分定性/定量分析 |
