[光刻胶疑问] 我们平时说的i线,h线,g线是什么意思?
曝光时光源的波长,i线是365nm,h线是405nm,g线是436nm。 |
|
[光刻胶疑问] 什么是光刻胶的MSDS,DATASHEET?
MSDS (Material Safety Data Sheet)即化学品安全技术说明书,亦可译为化学品安全说明书或化学品安全数据说明书。
是化学品生产商和进口商用来阐明化学品的理化特性(如PH值,闪点,易燃度,反应活性等)以及对使用者的健康
(如致癌,致畸等)可能产生的危害的一份文件。
DATASHEET主要包含一些工艺参数,胶厚曲线等,实验过程可作为参考。cn
|